小型开启式微型
立式管式炉,其炉管直径为φ30/50mm可选,适合于对样品在真空或气氛保护环境下吊烧和淬火。如果选用不同的配件与装置搭配,其也可以当作一款流化床立式管式炉来使用,可专门针对粉末表面沉积的CVD实验,此时,在高纯石英炉管内部嵌有石英砂芯,其孔径在5-15um内。烧结的粉末放置在砂芯层上,气体从炉管下端法兰处通入,通过砂芯层使样品颗粒在气流的带动下悬浮在加热区域(一般稳定在恒温区内),进行沉积实验。
维护管理要点:
加热元件维护:
定期检查:每月目视检查加热丝(硅钼棒/电阻丝)是否氧化、断裂或局部熔融,每季度紧固接线端子。
更换标准:若加热丝直径缩小超20%或电阻值变化超±10%,需立即更换。
延长寿命:可通过增加氧化层或气体保护措施(如氮气)减少氧化损耗。
炉管清洁与气密性:
物理清洁:每次实验后使用吸尘器或压缩空气清除炉管内残留粉末,避免高温碳化腐蚀。
化学清洗:对碳沉积可用10%稀盐酸浸泡2小时(需确认炉管材质兼容性)。
气密性检测:每月用肥皂水法检查接口泄漏,每季度测试真空度(低于10⁻²Pa需更换密封圈)。
安全防护与结构检查:
超温保护:确保超温报警和断电功能正常,避免加热元件过热损坏。
炉体检查:定期观察外壳裂缝、绝缘层老化情况,防止高温引发安全事故。
真空与气氛系统维护:
真空泵保养:定期更换真空泵油,清洗管路,避免白色沉淀物堵塞。
密封圈更换:耐温硅胶圈老化会导致真空度不足,需及时更换。